微波材料學工作站--微波能化學氣相沉積系統
主要用途：
主要為應用在半導體, 大范圍的絕緣材料，大多數金屬材料和金屬合金材料，石墨烯、納米材料、碳纖維、碳化硅、
鍍膜等新材料新工藝領域
產品特點：
★操作便捷：氣路連接方式采用了KF快速連接法蘭結構，使取放物料過程簡化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，
方便操作，取消了復雜的法蘭安裝過程，減少了安裝造成的損壞
★多功能：3種加熱方式可選可變：純微波、傳統電加熱、混合加熱；適應包括金屬與合金在內非易燃的任何樣品的熱處理
★開發的微波場專用傳感器，精準控溫
★安全：采用防止泄漏的四級聯鎖的保護屏蔽措施安全可靠的微波屏蔽腔體設計，多重防泄漏保護
*標配裝有專業微波抑制器
*內置微波泄漏傳感器
★節能：使用壽命長：磁控管微波加熱，避免和解決了傳統的加熱絲、硅碳棒、硅鉬棒等加熱元件容易損壞的問題，
也避免了因加熱元件
損壞而造成的時間、實驗進度、維修費用等各種損失
★采用無級可調、高穩定度長壽命、連續波微波源，確保設備能夠連續穩定長時間運行
★嵌入式微機一體化溫度控制系統；實現穩定性控溫
★無須烘爐過程：爐腔整體自身發熱，加熱均勻
★微波能量即開即有,無熱慣性,易于控制溫度
★爐體配有自動冷卻風扇
★保護管采用耐高溫合金管，氣管采用卡套或VCR接口，安裝簡便
★配有萬向輪調節底腳，方便移動和固定
選配功能：
1.多溫區獨立加熱模塊：型號后面加Ｄ
◆多個不同溫區獨立加熱、獨立控制，（標配 2 個溫區）
◆兩個以上溫區可額外選配
◆通常用于高溫下氣相或揮發分參與的材料合成
◆加熱區、恒溫區長度均可調。
2.可根據用戶需求定制立式或其他尺寸
技術參數：
主要用途：
主要為應用在半導體, 大范圍的絕緣材料，大多數金屬材料和金屬合金材料，石墨烯、納米材料、碳纖維、碳化硅、
鍍膜等新材料新工藝領域
產品特點：
★操作便捷：氣路連接方式采用了KF快速連接法蘭結構，使取放物料過程簡化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，
方便操作，取消了復雜的法蘭安裝過程，減少了安裝造成的損壞
★多功能：3種加熱方式可選可變：純微波、傳統電加熱、混合加熱；適應包括金屬與合金在內非易燃的任何樣品的熱處理
★開發的微波場專用傳感器，精準控溫
★安全：采用防止泄漏的四級聯鎖的保護屏蔽措施安全可靠的微波屏蔽腔體設計，多重防泄漏保護
*標配裝有專業微波抑制器
*內置微波泄漏傳感器
★節能：使用壽命長：磁控管微波加熱，避免和解決了傳統的加熱絲、硅碳棒、硅鉬棒等加熱元件容易損壞的問題，
也避免了因加熱元件
損壞而造成的時間、實驗進度、維修費用等各種損失
★采用無級可調、高穩定度長壽命、連續波微波源，確保設備能夠連續穩定長時間運行
★嵌入式微機一體化溫度控制系統；實現穩定性控溫
★無須烘爐過程：爐腔整體自身發熱，加熱均勻
★微波能量即開即有,無熱慣性,易于控制溫度
★爐體配有自動冷卻風扇
★保護管采用耐高溫合金管，氣管采用卡套或VCR接口，安裝簡便
★配有萬向輪調節底腳，方便移動和固定
選配功能：
1.多溫區獨立加熱模塊：型號后面加Ｄ
◆多個不同溫區獨立加熱、獨立控制，（標配 2 個溫區）
◆兩個以上溫區可額外選配
◆通常用于高溫下氣相或揮發分參與的材料合成
◆加熱區、恒溫區長度均可調。
2.可根據用戶需求定制立式或其他尺寸
技術參數：
| 型號/model | WBQXCJ-4 | |
| 可加熱材料 | 非易燃易爆的任何材料 | |
| 微波頻率 | 2.45GHZ±50MHz | |
| 加熱方式 | 純微波加熱、傳統電加熱、混合加熱 | |
| 功率/ KW(連續、可調) | 4 | |
| 樣品腔尺寸/mm | 標配Φ45mm；長度 1200mm。可根據用戶需求定制 | |
| 樣品腔(材質) | 石英管 | 剛玉管 |
| 控溫范圍/℃ | 室溫-1200℃ | 室溫-1500℃ |
| 溫度測試元件 | 微波場專用傳感器 | |
| 溫度分辨率/℃ | 0.1 | |
| 控溫精度/℃ | 1200℃以下±1；1200℃以上±2℃ | |
| 溫度偏差/℃ | ||
| 溫度穩定波動度/℃ | ||
| 冷卻方式 | 標配風冷（可選配水冷） | |
| 恒溫區長度/mm | 標配100 可根據用戶需求定制 | |
| 升溫速率(標配) | 0～200℃/min 任意設定，可編程、分段加熱 | |
| 溫度控制方式 | 10段可設工藝參數，7寸觸摸屏操作，帶數據存儲功能；提供手動、自動、恒溫控制模式，曲線實時顯示 | |
| 控制氣體 | 控制氣體：H2、CH4、Ar、N 2 、其它氣體可選 | |
| 流量控制 | 標配 2 套質量流量控制器：七星華創（真空保護閥門后置，匹配真空模式）；精度：0.8% | |
| 耐壓 | 1MPa；控制響應時間：10ms | |
| 真空系統真空泵 | RVP2008；壓力范圍：10 -3 Torr~760 Torr 抽速：8.5 m 3/h | |
| 真空計 | 數顯真空計：1atm-10 -1 Pa | |
| 標配 | 質量流量自動控制系統配備控制計算機及控制軟件，可以內置實時顯示和保存生長參數 | |
| 氣路其他配置 | 氣柜、氣路及閥門等 | |
| 端口 | 不銹鋼 KF50 法蘭接口 | |
| 電源電壓（V） | 220 | |
| 微波泄漏量/mW/㎝2 | ≤0.4 | |
| 外型尺寸（長´寬´高）/mm | 1500×750×1550 | |
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